Плазменные технологии в микроэлектронике. Часть 3. Кинетика процессов реактивного ионно-плазменного травления полупроводников в галогенсодержащей плазме
Владимирова Людмила Николаевна, Дикарев Юрий Иванович, Рубинштейн Владимир Михайлович, Петраков Владимир Ивановичภาษา:
russian
จำนวนหน้า:
21
ไฟล์:
PDF, 480 KB
IPFS:
,
russian0